旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型，旋转喷淋清洗设备系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。

在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均匀，同时，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，这样可以做到通过工艺时间设置，精确控制硅片的清洗腐蚀效果，实现很好的一致性。

旋转喷淋清洗设备密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持新鲜，以发挥大的潜力，这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到更好的清洗目的。

旋转喷淋清洗设备可以有效适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

旋转喷淋清洗设备是用于冲洗过滤液压系统在制造、装配、运用过程及维护时生成或侵入的污染物；也能够适用于对工作油液的定期维护滤，进步清洁度，防止或减少因污染而形成的毛病，从而保证液压系统设备的高性能、高牢靠度和短命命。

假如旋转喷淋清洗设备运用完停机后，不开水，枪子和管子有水而且是有压力。只要这个时分开一下枪，把枪和管子里的水放掉，才没压力。先检查喷嘴能否磨损；如已磨损，请改换喷嘴；过滤器能否梗塞，清洗货改换过滤器；摘下清洗机喷嘴，启动机器，观察喷枪放射出的水能否正常，如出水正常，再装上喷嘴，观察机器能否有压力，如仍无压力，阐明调压阀损坏或高压泵的密封损坏。

旋转喷淋清洗设备喷嘴呈现严重磨损，高压喷嘴磨损过度会影响设备的出水压力，应及时的去改换新的喷嘴。 接入设备的进水流量缺乏招致水流量缺乏，从而输出压力缺乏。应及时供给足够进水流量，即可处理出水压力降低的问题。清洗机清洁进水过滤器有空气，应排尽清洁进水过滤器内的空气后，确保输出规范的出水压力。